实用超高真空精确校准技术
2023.06.27
超高真空测量在宇宙空间模拟、空间活动部件冷焊试验、真空表面分析仪器、核反应、高能加速器、真空微电子技术和空间航天器等方面具有广泛的应用价值。超高真空规是超高真空测量的主要工具,要得到准确的测量结果,就必须对超高真空规进行精确校准。在我国,目前主要采用两种方法进行校准,一种是动态流量法,另一种是直接比对法。 直接比对法超高真空校准装置是以一只超高真空规作为参照标准对其它超高真空规进行校准,结构简单,操作容易,费用适中,一般校准实验室可以建立。但这种方法不确定度大。 这是因为作为参照标准的超高真空规本身测量不确定度就大,再加之超高真空规校准又比较困难。一般的做法是将超高真空规在高真空范围内进行