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压氦检漏平台系统
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产品详情
应用领域：
适用与半导体器件、电子产品、集成电路等电子元器件进行检漏的系统。
产品描述：
该系统能够对实验件进行抽真空和充气压氦，配合检漏仪可对工件进行粗检漏和精检漏。
技术性能 TECHNICAL DATA
压力罐压力：0.1-1Mpa可调
保压时间：0-10h可调
系统工作真空度：≤10pa
控制方式：手动/自动